結(jie)構組成：

1.真空系(xi)統

成像(xiang)系統和(he)電子束系統均內置于真空(kong)柱(zhu)中。真空(kong)柱(zhu)的(de)底部是(shi)密封室，也就是(shi)放置樣(yang)品的(de)地方(fang)。

之所以采用真空，主要基于以下(xia)兩個原因：

電子束系統(tong)中的燈絲在(zai)普通大氣中會很快(kuai)氧化失效，所以(yi)使用(yong)SEM時除(chu)了真空外，通常還需要用(yong)純氮氣或(huo)惰(duo)性氣體充(chong)滿整個真空柱。

為(wei)了(le)增(zeng)加電子(zi)的平均自由(you)程，使更(geng)多的電子(zi)用于(yu)成像。

2. 電子束系(xi)統

電(dian)(dian)子(zi)(zi)束系統由電(dian)(dian)子(zi)(zi)槍(qiang)和電(dian)(dian)磁透鏡組成(cheng)。主(zhu)要用于產(chan)生能量分(fen)布很窄且具有一定電(dian)(dian)子(zi)(zi)能量的電(dian)(dian)子(zi)(zi)束，用于掃描成(cheng)像。

3.電子槍

電子槍是用(yong)來(lai)產(chan)生(sheng)電子的，主要有兩種，一共三種。

4.電(dian)磁透(tou)鏡

熱發射電子(zi)(zi)需要電磁透鏡才(cai)能形成(cheng)光束，因此電磁透鏡對(dui)于使用熱發射電子(zi)(zi)槍的(de)SEM來說是不可少(shao)的(de)。通常(chang)組(zu)裝兩個(ge)組(zu)：

會(hui)(hui)聚透(tou)鏡：顧名思義，會(hui)(hui)聚透(tou)鏡使用(yong)會(hui)(hui)聚電子(zi)束，組裝(zhuang)在真空柱中，位于(yu)(yu)電子(zi)槍下方。通常不止一個，并且(qie)有(you)一組會(hui)(hui)聚光圈與(yu)之匹配。 但是，會(hui)(hui)聚透(tou)鏡僅用(yong)于(yu)(yu)會(hui)(hui)聚電子(zi)束，與(yu)成像(xiang)焦點無關。

物鏡(jing)：物鏡(jing)是真(zhen)空柱底部的電磁透鏡(jing)，負(fu)責將電子束的焦點會聚到樣(yang)品表面(mian)。